易度MFC赋能CVD硅碳负极工艺革新
硅碳负极材料属于锂离子电池四大主材:正极材料、负极材料、电解液、隔膜中的负极材料,对于锂离子电池的能量密度(车辆续航)、循环性能(使用寿命)、充放电倍率(快充效率)以及低温放电性能(车辆在低温环境下的续航衰减)具有较大的影响。
硅碳负极由于其高理论比容量被视为是继石墨之后最具发展前景的负极材料,成为研究的热点;国内已有多家企业申请硅碳负极材料专利,预计2025年硅碳负极材料市场渗透率将上升,2035年市场规模将达660亿美元,硅膨胀问题获改善,硅碳负极材料需求有望进一步增长。
稳定性好促进高品质生产
除了硅膨胀问题,硅碳负极材料在CVD工艺生产过程中还会遇到其他问题,乙炔作为主要碳源时产率高且质量稳定,丙酮作为溶剂帮助乙炔溶解和稳定,液体的丙酮会少量进入流道,对质量流量器的精度产生较大的影响。
尤其是靠热传导计算和控制流量的热式质量流量控制器,而层流压差式质量流量控制器由于层流元件是机械结构件,有少量的雾化丙酮进入流道也会快速排出,影响较小。