随着我国侵入式脑机接口临床试验不断推进，相关制造环节正逐渐发展成一条新兴产业链。该产业链融合半导体、精密医疗器械及生物材料等领域，属于超高精度制造范畴。在这一产业链的多个关键生产节点中，质量流量控制器（MFC）作为精确调控工艺气体的核心部件，发挥着重要的作用。
　　脑机接口供应链中的MFC
　　节点一 神经探针芯片的微加工制造
　　脑机接口硬件的核心，其工艺与半导体芯片制造高度相似。工艺过程中，为保护娇贵的神经组织，电极常需做超薄的涂层，因此对MFC的控制精度和稳定性提出了近乎严苛的要求。
　　关键工艺：在硅基或柔性基材上，通过CVD沉积绝缘层，或通过等离子刻蚀出微米级的电极沟槽与触点。MFC在过程中需要精确控制反应气体（如SiH4、NH3、CF4）和刻蚀气体的流量，控制精度需要在±1%F.S.以上；
　　节点二 器件封装与生物相容性涂层
　　植入式设备在水、离子丰富的脑脊液中长期稳定工作，为减少免疫排斥，电极表面常需气相沉积生物相容性涂层。